實時電子圖像及元素分布圖像呈現

u 同步呈現電子圖像以及元素分布圖同步呈現，無需在二者間頻繁切換

靈活記錄

u 在快速的掃描樣品時，稍做停留即可獲得高質量元素分布圖

路徑記錄

u 自動記錄位置信息，以及相應位置的元素信息，不會漏掉任何感興趣的特征

u 以不同亮度呈現元素含量的分布情況，一目了然

u 選擇感興趣的位置，一鍵返回

Ultim@Max 提供硬件支持

u 大面積能譜效率效果好，是實時獲得元素面分布圖的硬件保證

Ultim® Max探頭采用了更大的SDD晶體以及高靈敏的Extreme集成電路

u 更大的晶體有效面積(40 mm2,65 mm2，100 mm2,170 mm2)保證了所有情況下的高計數率

u 低噪音X射線探測提供最準確的結果可在高達400 kcps的計數率下進行準確定量

u 定性分析計數率高于1000 kcps

晶體面積對結果影響明顯

u 與10mm2的探頭相比，在相同條件下對相同區域進行分析，您可以使用170mm2探測器:

u 將時間縮短為原來的1/17

u 針對束流敏感樣品，束流僅為原來的6%，可以減少樣品損傷，減少樣品碳污染

讓困難樣品的分析變得簡單

u 低電壓性能:納米材料、不導電樣品、更少的樣品損傷

u 高靈敏性:輕元素及納米材料

u 提高SEM-EDS分析輕元素及納米材料的能力

u Ultim Extreme無窗能譜具有低電壓下低能端X射線靈敏性

不同面積，相同能量分辨率

u 所有Ultim@ Max探測器均具有相同的能量分辨率

u Mn Ka 保證能量分辨率127eV @130,000cpsFKa保證能量分辨率64eV@130,000cps

u CKa 保證能量分辨率56eV@130,000cps